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簡(jiǎn)要描述:純水液儲(chǔ)罐箱氮封閥是一套無需外加能源,利用被調(diào)介質(zhì)本身壓力變化而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié),使閥后壓力恒定,整機(jī)具有動(dòng)作靈敏、控制壓力波動(dòng)小、節(jié)約能源。
一、什么是超純水:
超純水是為了研制超純材料半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來的水,其電阻率大于18MΩ*cm,或接近18.3MΩ*cm極限值25℃)。簡(jiǎn)單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。這樣的水是一般工藝很難達(dá)到的程度,理論上可以采用二級(jí)反滲透再經(jīng)過串聯(lián)的混合型交換樹脂柱對(duì)二次反滲水進(jìn)行處理,但是交換樹脂的再生不便,質(zhì)量難以保證。
二、超純水的應(yīng)用:
1)電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗(yàn)室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗(yàn)、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。
2)化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等。
3)單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。
三、純水液儲(chǔ)罐箱氮封閥簡(jiǎn)介:
純水液儲(chǔ)罐箱氮封閥是一套無需外加能源,利用被調(diào)介質(zhì)本身壓力變化而實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié),使閥后壓力恒定,整機(jī)具有動(dòng)作靈敏、控制壓力波動(dòng)小、節(jié)約能源。ZZYVP-16B、ZZVP-16K純水液儲(chǔ)罐箱氮封閥是一套自力式微壓力控制系統(tǒng),用于保持容器頂部保護(hù)氣(一般為氮?dú)?的壓力恒定,以避免容器內(nèi)物料與空氣直接觸,防止物料揮發(fā),被告氧化,以及容器的安全。應(yīng)用各類大型儲(chǔ)罐的氣封保護(hù)系統(tǒng)。當(dāng)罐內(nèi)壓力降低時(shí),供氮閥打開補(bǔ)充罐內(nèi)氮?dú)鈮毫?;?dāng)罐內(nèi)壓力超高時(shí),泄氮閥打開自動(dòng)泄壓。始終保護(hù)罐內(nèi)壓力恒定。
純水液儲(chǔ)罐箱氮封閥采用動(dòng)力源與信號(hào)點(diǎn)分開檢測(cè)的方法,外加可調(diào)節(jié)流裝置,使整臺(tái)閥門的調(diào)節(jié)精度大大提高,減壓比最大可達(dá)2000:1。廣泛應(yīng)用于各種氣體減壓穩(wěn)壓的自動(dòng)控制場(chǎng)合,特別適合作為氮封的供氮閥使用,具有持續(xù)供氮壓力波動(dòng)小、反應(yīng)靈敏等特點(diǎn)。
四、超線水箱氮封系統(tǒng)工作原理:
當(dāng)儲(chǔ)罐出水閥開啟,放料時(shí),液面下降,氣相部分容積增大,罐內(nèi)氮?dú)鈮毫档?,ZZYVP-16B供氮閥開啟,向儲(chǔ)罐注入氮?dú)?,罐?nèi)氮?dú)鈮毫ι仙?dāng)罐內(nèi)壓力上升至供氮閥壓力設(shè)定值時(shí),供氮閥自動(dòng)關(guān)閉。
當(dāng)儲(chǔ)罐進(jìn)水閥開啟,進(jìn)料時(shí),液面上降,氣相部份容積減小,罐內(nèi)壓力升高,當(dāng)高于ZZVP-16K泄氮閥壓力設(shè)定值時(shí),泄氮閥打開,向外界釋放氮?dú)?,罐?nèi)氮?dú)鈮毫ο陆担抵列沟y壓力設(shè)定值時(shí),泄氮閥自動(dòng)關(guān)閉。
五、氮封系統(tǒng)壓力調(diào)節(jié)閥流體流速的計(jì)算方法及選取方式:
在實(shí)際應(yīng)用過程中調(diào)節(jié)閥的出品流速直接影響著整個(gè)控制閥的可靠性、穩(wěn)定性和使用壽命。閥門出口流速過快,導(dǎo)致高速流動(dòng)的介質(zhì)在調(diào)節(jié)閥中流動(dòng)時(shí)很容易使閥門產(chǎn)生嚴(yán)重沖刷和不規(guī)則的振動(dòng),破壞閥體及內(nèi)部零件,同時(shí)會(huì)產(chǎn)生很大的噪聲,因此在調(diào)節(jié)閥選型過程中,在確定了調(diào)節(jié)閥型號(hào)后,應(yīng)首先計(jì)算一下出口流速(特別介質(zhì)為氧氣一類時(shí)),然后再選擇閥門的口徑和材質(zhì)。
流速是單位時(shí)間內(nèi)流體的流動(dòng)速度,調(diào)節(jié)閥流速一般是指閥門出品介質(zhì)的流動(dòng)速度,主要與流體類、閥前后壓差、配管口徑及材料等因素有關(guān),下面簡(jiǎn)單介質(zhì)一下不同流體的流速計(jì)算方法及選取原則。
流速計(jì)算方法:
1、液體場(chǎng)合
V=0.408×Q/D2
流速V-ft/s;流量Q-usgal/min(GPM);閥出口直徑D-in。
2、壓縮氣體場(chǎng)合
(1)首先計(jì)算音速C
(2)計(jì)算調(diào)節(jié)入口及出口馬赫數(shù)
(3)計(jì)算流速V
V=cM,其中C-流體音速,ft/s
K-比熱比 g-重力加速度
R-氣體常數(shù) T-流體溫度
A1-閥入口面積 A2-閥出口面積
P1-閥入口壓力 P-閥前后壓差
Cg-氣體流量系數(shù) Cv-氣體流量系數(shù)
C1-Cg/Cv Cv-氣體流量系數(shù)
M2-出口馬赫數(shù) M1-入口馬赫數(shù)
六、規(guī)格用技術(shù)參數(shù):
主要參數(shù)及主要性能指標(biāo)見表一 表一
公稱通徑DN(mm) | 20 | 25 | 40 | 50 | 80 | 100 | 150 | ||||||
閥座直徑(mm) | 6 | 15 | 20 | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 | 125 | 150 | |
額定流量系數(shù)Kv | 0.32 | 5 | 8 | 11 | 20 | 30 | 48 | 75 | 120 | 190 | 300 | 480 | |
壓力調(diào)節(jié)范圍KPa | 0.1~0.5、0.4~5.0、4.0~12.0、 | ||||||||||||
公稱壓力PN(MPa) | 1.6 | ||||||||||||
被調(diào)介質(zhì)溫度(℃) | -5~+100 | ||||||||||||
流量特性 | 快開 | ||||||||||||
調(diào)節(jié)精度(%) | ≤±5 | ||||||||||||
執(zhí)行機(jī)構(gòu)有效面積(cm2) | 100 | 200 | 280 | 400 | |||||||||
信號(hào)接口 | 內(nèi)螺紋M10×1.5 | M16X1.5 |
2、壓力調(diào)節(jié)范圍見表二 表二
壓力調(diào)節(jié)范圍(KPa) | 指揮器膜室 有效面積(cm2) | 執(zhí)行機(jī)構(gòu)膜室 有效面積(cm2) | 使用閥門口徑(mm) |
0.1~0.5 | 1200 | 100 | 20~32 |
0.4~5.0 | 600 | ||
4.0~12.0 | 400 | ||
0.1~0.5 | 1200 | 200 | 40~50 |
0.4~5.0 | 600 | ||
4.0~12.0 | 400 | ||
0.1~0.5 | 1200 | 400 | 65~100 |
0.4~5.0 | 600 | ||
4.0~12.0 | 400 | ||
0.1~0.5 | 1200 | 600 | 125~150 |
0.4~5.0 | 600 | ||
4.0~12.0 | 400 |
3、主要零件材料見表三 表三
零 件 名 稱 | 材 料 |
氣動(dòng)活塞式執(zhí)行機(jī)構(gòu),指揮器 | 組合件 |
閥體,閥蓋 | ZG230-450,ZG0Cr18Ni9Ti,ZG0Cr18Ni12Mo2Ti |
推桿,閥桿 | 2Cr13,1Cr18Ni9 |
閥座 | 1Cr18Ni9Ti |
閥芯(軟密封)/填料 | 聚四氟乙烯 |
膜片 | 丁腈橡膠夾增強(qiáng)滌綸織物/四氟膜片/氟橡膠膜片 |
彈簧 | 1Cr18Ni9Ti、60Si2Mn |
七、壓力調(diào)節(jié)閥的流量特性:
八、典型的安裝方式: