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LKZZYVP-16B超純水水箱氮封系統(tǒng)閥由ZZYVP-16B供氮閥、ZZVP-16K泄氮閥和HXF-10呼吸閥三部份組成。供氮閥一般設(shè)定壓力1KPa，泄氮閥設(shè)定壓力2Kpa，呼吸閥設(shè)定壓力+3KPa/-298Pa。當(dāng)水箱出水閥開啟時，液面下降，壓力降低，供氮閥開啟，向注入氮?dú)?。?dāng)進(jìn)水液位高于泄氮壓壓時，自動打開泄壓。

ZZYP-16BII超純水氮封氮?dú)鉁p壓閥在水箱保護(hù)系統(tǒng)中的使用：，空氣中含有二氧化碳、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì)，而超純水為純的溶劑，對這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng)，故一旦超純水與空氣接觸，就會使其電阻率迅速下降，實踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會下降至3-4MΩ.cm，3分鐘以后就會下降到2MΩ.cm左右，因此超純水系統(tǒng)的儲存容器需確保水體與空氣的接觸。